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機台資訊

本共同實驗室起源於東台集團及東捷科技對本校系的贊助,於2024年01月05日捐贈價值2500萬元之三波長飛秒雷射雙平台加工機於本系,本系同時整修91X04實驗室,成立「次世代超快雷射應用實驗室」,以利與產業進一步合作,於發展半導體與雷射領域。並希望學生能在半導體雷射之專業知能上更為業界所接受與肯定。

飛秒雷射雙平台加工機外觀圖,詳細描述如下。

室內空間圖詳細說明

次世代超快雷射應用實驗室-室內空間放置飛秒雷射單平台加工機,實驗室內部地板鋪有環氧樹脂地坪,溫溼度24小時控制,達到類無塵室等級。


飛秒雷射雙平台加工機重點規格圖,詳細描述如下。
加工機重點估格圖詳細說明

雷射規格型號為Amplitude Satsuma HP3+SHG/THG,波長為1030/515/343nm,脈寬<500fs。機台外觀尺寸為1537x2334x2360mm,屬雙側平台,平台行程為300x300mm,電源來AC208V3項50A60Hz,其他含自動對焦、影像對位、集塵系統功能,加工動作為載入雷射加工路徑,由振鏡掃描該路徑加工配合Stage移動接圖。 加工左側及右側平台規格都是Wafer type 12",平台行程都是300x300mm,雷射鏡頭都是使用Telecentric F-Thera Len,差別在左側平台雷射是使用343nm fs laser,右側平台雷射使用1030/515nm fs laser。


飛秒雷射雙平台加工機20240529東捷工程師驗機規格圖,詳細描述如下。
20240529東捷工程師驗機規格圖詳細說明

使用1030nm量測結果,雷射功率為49.5W,30min量測功率標準偏差為0.116W,加工端雷射聚焦尺寸為29.4um,加工端雷射最大功率為34,鏡頭加工校正範圍48mm。 使用515nm量測結果,雷射功率為23.1W,30min量測功率標準偏差為0.46W,加工端雷射聚焦尺寸為14.7um,加工端雷射最大功率為10.6,鏡頭加工校正範圍48mm。 使用343nm量測結果,雷射功率為8.3W,30min量測功率標準偏差為0.157W,加工端雷射聚焦尺寸為10.4um,加工端雷射最大功率為7.3,鏡頭加工校正範圍46mm。

 

預約加工及教育訓練
實驗室管理辦法下載
預約機台使用,請聯絡superuser安排使用時間。
 (1) 教育訓練申請: https://forms.gle/YorQ41WKvne7bJXX7
 (2) 機台代工申請:https://forms.gle/Z98hc9FpG5GfNsBj6

儀器負責老師

  張家源老師個人照片 固力組_張家源老師(62161) cychang0829@gmail.com
  張晉愷老師個人照片 固力組_張晉愷老師(62179) ckchang@gs.ncku.edu.tw
  洪嘉宏老師個人照片 固力組_洪嘉宏老師(62153) hungch21@gs.ncku.edu.tw
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